真空干燥箱多少钱一台?尺寸大小和加热方式决定价格的变化,在我们行业中,加热方式分4种 电加热、水加热、蒸汽加热和导热油加热,最便宜的就属电加热的.
低温泵的选型方法
(1)按被抽气体种类选低温冷凝泵的温度
从图1-101可以看到,不同气体的三相点温度是不一样的,例如水蒸气的凝固点
273K,氧或氩的凝固点在78K。如果只抽出水蒸气,选273K的低温冷凝泵是最经济的;
果需要抽除O2或Nz,就必须选温度低于78K的冷凝泵;如果需要抽Hz、P2或Ne,则
须选低于4.2K的低温冷凝泵。
(2)按被抽空间的结构选低温泵的布置
根据工艺过程的需要,被抽空间的结构和状态是不一样的。例如宇宙模拟空间较大,
且需要模拟分子沉和热沉状态,则低温泵的吸气面(低温板)可以直接安放在被抽空间
四周位置全部摆设低温板,这样布置节省空间,通导能力大,抽气效率高。如果是在真空
膜设备上选用低温泵,在被抽空间内需要布置靶源、工件架、被镀工作等元件,不适宜布
低温板,则必须将低温布置在被抽空间之外,用法兰与被抽空间相连接,这时需要选用
1-106所示的低温泵。
(3)按使用低温泵的用户所具有的条件选泵
如果用户具有生产液态氮或液态氨的能力,或者有低温槽车,可以大量储运类似的制
工质,则可以选用类似图1-102或图1-104的低温泵;如果用户不具备上述条件,则只能
用类似图1-105的带制冷机低温泵。
(4)按所需低温泵的抽速选泵
低温泵的理论抽速与气体分子的流动状态有关,分子流状态下,低温泵的最大抽速为
(器)v98-s
(1-
在过渡流和黏滞流状态下,低温泵的最大抽速为:
5
(1-
(날),[]-。